近日，我司推出TMFC熱式氣體質(zhì)量流量控制器，依托成熟的熱式量熱測溫技術(shù)，實(shí)現(xiàn)無需溫度、壓力補(bǔ)償?shù)母呔取⒏叻€(wěn)定性氣體流量測控，可為半導(dǎo)體、新能源、化工、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域提供標(biāo)準(zhǔn)化、自動(dòng)化、精密化的氣體流量控制解決方案。

相較于傳統(tǒng)流量控制設(shè)備，TMFC**優(yōu)勢在于抗干擾能力強(qiáng)、測控精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快。設(shè)備采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理，可在系統(tǒng)壓力波動(dòng)與環(huán)境溫度小幅變化工況下保持測量與控制精度，有效解決常規(guī)設(shè)備易受工況影響、數(shù)據(jù)漂移、重復(fù)性差等問題。產(chǎn)品支持滿量程2%–100%穩(wěn)定可控，量程比達(dá)50:1，可覆蓋微量至中大流量區(qū)間，適配精細(xì)化配氣與定量供氣需求。

在控制與兼容性方面，新款TMFC集成模擬、數(shù)字雙控模式，兼容0–5V、4–20mA、RS485通用工控信號，可直接對接PLC、工控采集系統(tǒng)與上位機(jī)，輕松實(shí)現(xiàn)流量實(shí)時(shí)顯示、自動(dòng)計(jì)量、數(shù)據(jù)記錄與遠(yuǎn)程管控，滿足現(xiàn)代化生產(chǎn)線的自動(dòng)化集成需求。設(shè)備響應(yīng)時(shí)間≤2秒，配合PID閉環(huán)控制，可快速穩(wěn)壓、**穩(wěn)流，保障工藝一致性。

產(chǎn)品具備優(yōu)異的工況適配能力與工藝品質(zhì)，最高耐壓可達(dá)30bar，適配高壓特種氣體場景；氣路采用316L不銹鋼材質(zhì)，搭配多類型密封材料，可兼容高純氣體與腐蝕性氣體工況，并實(shí)現(xiàn)**氦檢漏率，充分滿足半導(dǎo)體鍍膜、光伏制程、鋰電制造、真空設(shè)備、氣相分析、催化實(shí)驗(yàn)等高潔凈、高精密生產(chǎn)與科研場景。

同時(shí)，設(shè)備支持多規(guī)格管路接頭選配，適配實(shí)驗(yàn)室與工業(yè)產(chǎn)線管路標(biāo)準(zhǔn)，安裝調(diào)試便捷，可水平或非水平安裝，零點(diǎn)可校準(zhǔn)，整體抗震動(dòng)、穩(wěn)定性強(qiáng)。設(shè)備出廠采用標(biāo)準(zhǔn)溫壓環(huán)境標(biāo)定，精度指標(biāo)優(yōu)異，具備±1%準(zhǔn)確度、±0.5%線性度與±0.2%重復(fù)性的三重高精度性能。